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Kleindiek纳米探针台是基于SEM/FIB的材料,半导体器件的电学性能表征系统。纳米级微操纵器和相关的探针软硬件模块组合提供多功能的纳米探测的解决方案,用于半导体器件故障分析和稳定微弱电流的测量。
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