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EBIC Amplifier用于对半导体样品,器件,微纳结构可进行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。通过MM3A/MM4将探针精确定位到探测位置,信号通过弱电流测量屏蔽套件(LCMK)传输到SEM/FIB视频输入端,并通过SEM/FIB成像。
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